CS330質量流量控制器是七星華創(chuàng)流量計新研發(fā)的數字型產品,*高流量可達200SLM氮氣,并可實現數字/模擬控制模式;產品采用了新型全金屬密封結構形式、大流量、低壓損電磁調節(jié)閥、以及*的人工智能機器人金屬表面拋光技術,可用于測量各種氣體的流量,包括惰性氣體、強腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產品具備精度高、響應速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點,并支持DeviceNet,RS485通訊協議。
查看詳細介紹CS200H質量流量控制器是七星流量計生產的數字型高溫產品,其電氣和機械部分采用分體式的設計,通過高溫線纜連接,可以實現在高溫環(huán)境下工作,能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。
查看詳細介紹CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產品,該產品在原有CS200氣體質量流上,采用了基于DF的壓力信號補小償算法,全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝,產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準,支持Ⅵ型,C型GS氣路系統。
查看詳細介紹CS100數字氣體質量流量控制器是基于七星流量計CS系列產品技術平臺開發(fā),在擁有恒功率傳感器技術,數字傳感器平衡技術,VCP線控制技術的基礎上,采用客戶定制化設計,客戶可根據需要選用符合自身需求的產品,同時其*創(chuàng)的客戶零點補唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題,使產品更好的適應客戶環(huán)境。
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