D07-19FM氣體質(zhì)量流量計(jì)密封材料:氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
D07-19FM氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | D07-19FM |
產(chǎn)品類(lèi)型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
輸入輸出信號(hào) | (1~5)VDC,(4~20)mA |
電源 | 24V |
閥類(lèi)型 | 無(wú)閥 |
溫度系數(shù) | - 無(wú) - |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無(wú) - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10,雙卡套3/8” |
表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
表面粗糙度 | - 無(wú) - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |